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DZ450热阻蒸发系统
编号:3
类别:蒸发镀膜设备
  • 产品概述
  • 规格参数
  • 服务支持

    设备用途 

        适用于制备金属薄膜等,可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作。

     

    设备组成

     

        该设备主要由金属源蒸发沉积室、真空排气系统、真空测量系统、蒸发源、样品加热控温、电控系统、配气系统等部分组成。

    极限真空度:6x10-5Pa

    抽速:6x10-4Pa≤30min

    样品尺寸:100x100mm

    样品台温度:300℃;

    有机束源炉组件:2套;

    热阻蒸发源组件:2套;

    分子泵系统:1套;

    自动控制系统:1套;

    膜厚监测仪(1个探头):1套;

    冷却水路系统:1套。

    公司:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 

    地址:沈阳市浑南新区新源街1

    销售电话:024-23826899024-23826855

    售后电话:024-23826838

    传真:024-23826828

    邮箱:sales@sky.ac.cn

    网址:www.sky.ac.cn

    开户行:建行沈阳浑南新区产业园分理处

    账号:2100 1394 6010 5958 1266

    纳税号:912101 0041 0581 2660

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