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中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 (以下简称公司) 是一家集真空仪器装置研发、生产、销售、服务为一体的高科技企业其前身是中科院直属事业单位，创建于1958年，2001年整体转制为有限责任公司，2011年12月整体变更为股份有限公司。
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PECVD系列等离子体化学气相沉积镀膜设备

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